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蔡司EVO系列 扫描电子显微镜evo-system
类型: 工业显微镜
品牌: ZEISS
型号: ZEISS EVO
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模块化的 SEM 平台适用于直观操作、例行检测和研究应用


EVO系列将高性能的扫描电镜和直观的、友好的用户界面体验结合在一起, 同时能够吸引经验丰富的用户以及新用户。无论是在生命科学, 材料科学, 或例行的工业质量保证和失效分析领域,凭借广泛的可选配置, EVO 都可以根据您的要求量身定制。

显微镜中心或工业质量保证实验室的多功能解决方案









  • 显微镜中心或工业质量保证实验室的多功能解决方案

  • 不同的真空室大小和可满足所有应用要求的载物台选项-甚至是大型工业零部件样品

  • 使用LaB6灯丝,能够得到优异的图像质量

  • 对不导电和无导电涂层的样品的成像和分析性能出色

  • 可以配置多种分析探测器用于满足各种显微分析应用的需求

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EVO 系列

真空室尺寸选择


蔡司EVO 10

蔡司EVO 15

蔡司EVO 25



选择 EVO 10(可选配BSD和EDS)是您想以一个非常实惠的价格购买扫描电子显微镜的切入点。即使这个EVO真空室很小,它也不同于台式电镜。您现在在 EVO 的投资保证了您已经为将来需要更多空间和端口的应用做好了准备。


EVO 15 充分展示了 EVO 家族的灵活性概念, 并擅长于分析应用。选择 EVO 15 更大的真空室, 并增加对不导电样品或零件的成像和分析的可变压力模式, 你将有一个多功能多用途的显微镜设备或者工业质量保证实验室的解决方案。

EVO25 是工业的主力解决方案, 它有足够的空间以容纳甚至更大的部件和组件。可选的 80 mm Z 轴行程载物台可进一步扩展 EVO 25的功能, 它可以处理重量高达2公斤的样品甚至倾斜。此外, 大的真空室将能够容纳多个分析检测器以满足苛刻的微量分析应用需求。

最大样品高度

100 mm

145 mm

210 mm

最大样品直径

230 mm

250 mm

300 mm

电动载物台行程XYZ


80 x 100 x 35 mm


125 x 125 x 50 mm

130 x 130 x 50 (或 80) mm

高真空模式 (HV)
导电样品质量的成像与分析



可变压力模式 (VP)

不导电且不喷涂导电层样品的高质量成像和分析




扩展压力模式 (EP)
含水或被污染的样品在其自然状态下成像




产品应用:


生产与装配企业


  • 质量分析/质量控制

  • 失效分析/金相分析

  • 清洁度检查

  • 颗粒的形态和化学分析, 以满足 ISO 16232 和 VDA 19 中1和2的标准

  • 非金属夹杂物的分析

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电子半导体


  • 目视检查电子元件、集成电路、MEMS 器件和太阳能电池

  • 铜丝表面及晶体结构的研究

  • 金属腐蚀研究     

  • 断面失效分析

  • Wire bonding线脚检查

  • 电容表面成像

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钢铁和其它金属


  • 对金属样品和夹杂物的结构、化学和结晶学进行成像和分析

  • 相、颗粒、焊缝和失效分析


原材料


  • 地质样品的形态、矿物学和成分分析

  • 对金属、断裂和非金属夹杂物的结构进行成像和分析

  • 微粉化和造粒过程中原料化学成分和活性成份的形态和成分分析

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材料科学研究


  • 用于研究导电和不导电材料样品的特征

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生命科学


  • 对植物、动物和微生物的研究

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司法鉴定


  • 枪击残留物(GSR)

  • 油漆和玻璃分析

  • 钞票和硬币伪造

  • 头发和纤维比较

  • 法医毒理学

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